作者：王铁玲,刘宝伟,吕颖,陈宝成,马莎,浦龙 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2019年第06期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2019060290 DOC编号：DOCCGQJ2019060299 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 针对大过载(700～800倍)使得真空传感器的电容薄膜电极发生塑性变形，导致传感器失效的问题，根据动量定理，在真空传感器的气体输入端增设阻尼管及一定体积的容腔，延缓气团冲击电容薄膜电极的时间，达到保护电容薄膜电极的目的。通过有限元仿真分析，初步确定阻尼片的排列方式及阻尼孔的分布，并将优化后的真空传感器在真空测试装置中进行模拟试验，验证结构优化的有效性，并得到阻尼片的最优排列及与之匹配的容腔体积。

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