《瑞利型SAW气体传感器的设计与分析》PDF+DOC
作者:翟佳鑫
单位:黑龙江省创联文化传媒有限公司
出版:《科技创新与应用》2019年第04期
页数:2页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCXYY2019040380
DOC编号:DOCCXYY2019040389
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文章利用有限元软件设计了两种声表面波(SAW)气体传感器,证实了双向叉指换能器(IDT)和浮动电极单向换能器(FEUDT)结构激励的SAW是瑞利波;用聚异丁烯(PIB)作为敏感膜材料,对两种传感器吸收二氯甲烷(DCM)的灵敏度进行比较,发现具有FEUDT结构的SAW气体传感器灵敏度较高。
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