作者：王浩 单位：中国半导体行业协会 出版：《中国集成电路》2019年第07期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJCDI2019070100 DOC编号：DOCJCDI2019070109 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • MEMS做为本世纪前沿技术，有着非常广阔的前景，越来越受到业界专注。本文介绍了华润上华设计中心研发的3轴加速度计的原理及ASIC电路设计，该电路由前置放大器、增益失调调节电路、模数转换器、温度感应器及数字信号处理电路等组成。本电路结构简单，精度高，功耗低，能很好地满足系统中惯性及加速度的测量。

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