作者：周仕强,卢清杰,陈明鹏,张瑾,柳清菊 单位：中国科学院上海微系统与信息技术研究所;中国材料研究学会 出版：《功能材料与器件学报》2019年第02期 页数：12页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGNCQ2019020010 DOC编号：DOCGNCQ2019020019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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