作者：谭祥虎,王海圣,韩哲,翁新全,许静玲,柯银鸿 单位：中国科学院上海微系统与信息技术研究所;中国材料研究学会 出版：《功能材料与器件学报》2018年第03期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGNCQ2018030030 DOC编号：DOCGNCQ2018030039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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