作者：郝建红,范宗皓,李艺 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2019年第04期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2019040030 DOC编号：DOCYBJS2019040039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 研究了一种量程为800 kPa的改进型梁-岛-膜结构MEMS压阻式压力传感器，通过与常见的C型和E型结构进行仿真对比，证明这种改进型结构的传感器灵敏度得到了很大提高。采用IntelliSuite仿真分析最大等效应力、挠度和输出电压，得出在中心膜尺寸为2.6 mm&#215；2.6 mm&#215；60μm，梁尺寸为400μm&#215；200μm&#215；60μm，岛尺寸为1.3 mm&#215；1.3 mm&#215；370μm的情况下，该结构具有较高的线性度和灵敏度，同时进行了制版与加工流程定义。为了实现结构的优化，设计了压敏电阻的尺寸和阻值，通过对改进型结构的仿真，确定了获得最大电压输出时压敏电阻的尺寸；并分析比较了同一硅杯尺寸下3种结构不同压力下的最大等效应力、挠度和输出电压分布图，得出改进型结构灵敏度最佳。

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