作者：天工 单位：四川石油管理局;中国石油西南油气田公司;中国石油川庆钻探工程公司 出版：《天然气工业》2019年第07期 页数：1页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFTRQG2019070070 DOC编号：DOCTRQG2019070079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 随着井眼测量技术的发展和升级，传统传感器体积大、易损坏且成本高等缺点日益突出。为此，业界积极寻求一种可替代传统测控传感器的技术。近年来，随着半导体制造技术的发展，小型化、价格低廉且坚固耐用的微机电系统(MEMS)传感器在井下工具中获得了越来越多的应用。MEMS传感器所用的耐疲劳配件能承受数十亿次甚至数万亿次的冲击而不会出现失效；MEMS传感器微小的尺寸意味着活动部件少，使其在受到冲击和振动时具备高的可靠性；MEMS传感器的成本是传统传感器的百分之一甚至千分之一。MEMS传感器技术能确保制造

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