作者：孙风光,刘焱,周岩,杨培滋 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2019年第05期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2019050070 DOC编号：DOCCGQJ2019050079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 设计了基于微机电系统(MEMS)工艺，以镍薄膜作为加热体的新型催化传感器。通过磁控溅射沉积、刻蚀等工艺制成镍薄膜加热器，并对其进行了稳定化热处理以及防氧化聚合物涂层处理。传感器性能测试结果表明：镍薄膜加热器具有良好的抗高温氧化能力；气氛老化可缩短50%的老化时间；甲烷气体浓度与灵敏度呈良好的线性关系；对甲烷的灵敏度约为30 m V/1%Vol；传感器功耗约为150 m W，零点和灵敏度年漂移小于1. 5%LEL。

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