作者：刘剑桥,洪吴松,吕佳蓉,吴丽婷,高凤娇,翟朝霞,金国华 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《半导体技术》2019年第10期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTJ2019100140 DOC编号：DOCBDTJ2019100149 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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