作者：鲍丙豪,陈亮 单位：西安电子科技大学 出版：《电子科技》2019年第03期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZKK2019030130 DOC编号：DOCDZKK2019030139 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 基于TDC原理文中提出了一种用于MEMS电容式压力传感器的微弱电容测量电路。该电路以微处理器STM32F103为控制核心，通过SPI总线对Pcap01芯片进行时序控制，完成电容数据的采集、分析、处理和显示。该电路具有体积小、抗干扰性强、分辨率高和刷新频率高的特点。通过对10 pF以下的固定电容和MEMS电容式压力传感器测量验证新电路的性能。实验结果表明，电路在10 Hz刷新频率下有效精度位为16位，分辨率可达61 aF。

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