作者：杜志,贺建波 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2019年第06期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2019060050 DOC编号：DOCYBJS2019060059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 设计了一种应用于岩土工程中电阻式压力传感器。借助于微机械工艺(MEMS)在高弹性体聚二甲基硅氧烷(PDMS)内部嵌入微流孔，并填充新型液态金属(eGaIn)作为传感器的核心区域。结果表明：相对于传统压力传感器，采用软光刻技术微流孔尺寸可以达到μm级，精度更高；采用无毒，导电性好的新型材料液态金属，其适用性更广。

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