作者:宋振林,张覃轶,孟鑫,姚志伟,张顺平 单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版:《传感器与微系统》2019年第05期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGQJ2019050020 DOC编号:DOCCGQJ2019050029 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 采用自制ZnO颗粒,通过丝网印刷制备了ZnO平板型厚膜气体传感器,使用微液滴注的方法对ZnO传感器进行Mg,Mn,Sn,Pd掺杂,测量了传感器对乙醇、丙酮、苯、乙酸的气敏性能。结果表明:微滴掺杂能有效提高传感器敏感性和选择性,其中,Mg掺杂传感器对乙醇和丙酮具有最大响应值,同时Mn掺杂传感器对乙酸表现出了较好的选择性。

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