《基于激光干涉的传感器非线性误差标定研究》PDF+DOC
作者：廖金权
单位：重庆市光学机械研究所
出版：《激光杂志》2019年第04期
页数：4页 （PDF与DOC格式可能不同）
PDF编号：PDFJGZZ2019040380
DOC编号：DOCJGZZ2019040389
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利用传统方法对传感器进行误差标定时，未考虑传感器位移信息的测量和处理，导致非线性误差标定结果误差大、标定效果差，针对该问题，提出一种基于激光干涉的传感器非线性误差标定方法。首先通过传感器和激光干涉仪根据测量原理进行位移测量，做好非线性误差的标定的准备工作；然后对位移测量数据进行预处理，对误差确定及影响因素进行分析，确定误差位移量、余弦关系式等信息完成传感器非线性误差的标定，最后测试结果表明：与其它两种传统传感器非线性误差标定方法相比，本文方法的传感器非线性误差标定误差更小，标定效果更好，更适合精密仪器的误差标定工作。
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