作者：周天浩,谭秋林,郭涛,郭倩倩 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2019年第04期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2019040060 DOC编号：DOCBDTQ2019040069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 将碳纳米管(CNT)粉末以及氧化铜(CuO)粉末掺杂作为传感器的气敏材料，并通过旋涂的方式涂覆于敏感线圈。设计并简化了传感器的结构，通过丝网印刷工艺在基底上制备线圈。利用线圈的寄生电容与线圈电感形成LCR回路，分析了传感器LC无线耦合的原理以及混合气敏膜吸附丙酮气体的原理，将性质稳定的Al2O3陶瓷作为传感器的基底。在常温下对丙酮气体的体积分数进行检测，谐振频率的改变反映丙酮气体体积分数的变化。结果表明，所制得的传感器具有良好的响应和线性度及优良的稳定性，传感器的最低检测极限为5&#215；10-5。

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