作者:姬茹 单位:山东电子学会 出版:《》 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFSDDZ2018110350 DOC编号:DOCSDDZ2018110359 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 基于光纤加速度传感器高灵敏度、低成本与微型化的市场发展需求,本文采用MEMS技术设计制作了一种新型的高灵敏度光强型加速度传感器,介绍了其工作原理以及测试结果,结果表明该加速度传感器具有良好的线性输出特性,该传感器的灵敏度可达0.9mv/g,线性度可达0.97,展现出了极有发展潜力的优良性能。与传统压电型等高灵敏度加速度传感器相比,该加速度传感器使用纯粹的光信号极大地避免了电磁干扰的影响,且利用MEMS技术制作加工,加工步骤简便,因此易于批量化生产,同时通过优化结构设计该传感器可应用于振动监测、惯性导航等诸多领域。

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