作者：鲍钰胜,熊大元,徐少辉,王连卫 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2019年第07期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2019070090 DOC编号：DOCBDTQ2019070099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《电子束辐照改性二氧化锡传感器件的敏感特性》PDF+DOC2008年第11期 李珍,刘岩岩,吴明红,焦正,赵兵 《SnO_2纳米粉体的水热制备及其气敏性能研究》PDF+DOC2009年第02期 刘伟,宋玉哲,喇培清,刘国汉,席彩红,高晓平,刘东妮,韩根亮 《基于氧化石墨烯/氧化锌复合材料的乙醇气体传感器》PDF+DOC2016年第03期 吴岩,赵国刚,张素爽 《Ni掺杂SnO_2气敏材料优化设计及对低浓度甲醛气敏性能研究》PDF+DOC2018年第12期 郭威威,周麒麟,陆伟丽 《SnO_2传感器表面微结构的调控及其气敏性能研究》PDF+DOC2018年第04期 周祥青,李梓蒙,刘晨,詹奇翔 《SnO_2基可燃气体陶瓷传感器》PDF+DOC 黄泳,姜明,李锋,张侃 《无团聚纳米级SnO_2粉末及其气敏元件的制备》PDF+DOC1996年第05期 吴柏源,伍建新,江美玉,林广涌 《掺杂纳米SnO_2气敏传感器的研究进展》PDF+DOC2005年第04期 杨华明,杜春芳,欧阳静,张向超,苏晓辉 《Ni掺杂SnO_2的光谱特性及气敏性能研究》PDF+DOC2015年第10期 肖井坤,宋成文,张肖妮,初璇,吴帅华,成慕荣,宋明艳,于迎涛 《SnO_2厚膜与基板附着强度及气敏性能研究》PDF+DOC2014年第09期 殷锡涛,郭兴敏

    • 为了提高气敏传感器性能，设计并制备了玻璃基底的微加热板，包括加热电极和测试叉指电极(IDE)，基于微加热板，利用聚苯乙烯(PS)微球作为掩模，使用多次光刻-剥离工艺制备三维多孔SnO_2薄膜传感器，研究了有无微球和微球直径对于传感器气敏性能的影响。采用扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)对多孔表面形貌进行观察和表征。通过测试不同条件制备的传感器对于乙醇气体的气敏性能，得到使用直径1μm微球作为掩模制备的传感器性能更好，在约220℃的工作温度下，对体积分数为10-4的乙醇气体有3.5的灵敏度，并对传感器的重复性和线性度进行了测试。

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