作者：陈柔茹,丁炯,杨遂军,叶树亮 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2019年第04期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2019040330 DOC编号：DOCCGQJ2019040339 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 由于尺寸小，使用常规热电偶静态标定方法标定薄膜热电偶时，在标定过程与使用过程中，传感器和补偿导线上的温度梯度分布不一致，使薄膜热电偶的热电势也不同，影响其测温准确性。为解决这一问题，设计了集薄膜金—铂热电偶和薄膜铂电阻器于一体的自标定薄膜温度传感器及其标定系统，使用电子印刷法制备传感器，采用激光加热技术模拟其使用时的温度分布，通过有限元仿真分析其温度分布规律，基于温度外推实现薄膜热电偶静态特性自标定。结果显示，传感器中的薄膜热电偶在室温到300℃内的塞贝克系数为5. 3～7. 6μV/℃。

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