作者:聂萌,郭安琪,陈佳琦,徐峰 单位:中国微米纳米技术学会;东南大学 出版:《传感技术学报》2019年第04期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGJS2019040010 DOC编号:DOCCGJS2019040019 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 设计并制备了由黑磷烯/氧化石墨烯双层材料为介质层的电容式柔性压力传感器,该传感器结构以ITO为电容上下极板,PET为柔性基底,并对该传感器进行了系统的性能测试与分析。着重研究了该传感器在不同压力量程内的灵敏度,进而分析了其温度漂移特性。测试结果表明,以黑磷烯/氧化石墨烯薄膜为双介质层的电容式柔性压力传感器在0~3.12 kPa压力量程内灵敏度可达到1.60 kPa~(-1)。同时,对该传感器和以氧化石墨烯薄膜为单介质层的传感器进行了弯曲应变性能的对照实验,可知具有双介质层的传感器结构能够显著提高传感器的输出特性。

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