作者：刘婉,鲁亚巍,胡文彬,白飞明 单位：中国电子科技集团公司第二十六研究所 出版：《压电与声光》2020年第04期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYDSG2020040020 DOC编号：DOCYDSG2020040029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 针对在柔性衬底上制备非晶软磁薄膜的技术难题，该文研究并制作了一种基于柔性聚酰亚胺(PI)衬底的磁声表面波(MSAW)谐振器。通过在柔性PI衬底上溅射沉积了非晶FeCoSiB磁致伸缩薄膜和ScAlN压电薄膜，光刻制备了叉指电极，并形成IDT/ScAlN/FeCoSiB/PI层状结构，成功获得了柔性MSAW谐振器。采用X线衍射(XRD)和原子力显微镜(AFM)分析了薄膜的结构和表面形貌及利用振动样品磁强计(VSM)和短路微带线法测试了FeCoSiB薄膜的静态磁性和高频磁谱特性，最后在探针台上利用矢量网络分析仪对器件进行测试，并与COMSOL仿真结果进行对比。实验结果表明，该MSAW器件有两个谐振峰，其中瑞利波出现在28.32 MHz，兰姆波出现在93.69 MHz。

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