《基于CCD的激光三角法测量BLT的性能研究》PDF+DOC
作者：秦阳阳,王利霞,朱正宇
单位：国家科技部西南信息中心
出版：《自动化应用》2020年第08期
页数：3页 （PDF与DOC格式可能不同）
PDF编号：PDFZDHT2020080210
DOC编号：DOCZDHT2020080219
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为解决芯片在封装过程中BLT的测量精度差、结构复杂、抗干扰能力不足等问题，采用激光三角法对测量系统进行标定。该方法采用8点法进行测量，比传统的5点法抗抖动性更好。分析测量过程中存在的偏差来源及其对测量系统产生的影响，在理论分析的基础上通过实验进行验证。实验结果表明，该系统在焊料厚度测量当中的准确性和可行性较高，在电子产品和IC制造中有一定的推广运用价值。
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