《传感器表面磁控溅射Mg-Sn涂层组织及导电特性分析》PDF+DOC
作者：张晓斌,张远,李海生
单位：中国真空学会
出版：《真空科学与技术学报》2020年第08期
页数：5页 （PDF与DOC格式可能不同）
PDF编号：PDFZKKX2020080150
DOC编号：DOCZKKX2020080159
下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《干吸工段硫酸浓度计的标定方法》PDF+DOC2016年第06期 林成东
《土壤水分测量技术研究及实现》PDF+DOC2019年第24期 王中金,张振强,李明放,孟晓东,胡锦涛
《利用手持技术实验测定醋酸为弱电解质》PDF+DOC 王磊,司步磊
《基于手持技术的乙酸乙酯水解实验研究》PDF+DOC 王寿红
《S枪磁控溅射Ni薄膜晶粒结构与导电特性的研究》PDF+DOC1999年第05期 凌明芳
《CdO对In_2O_3电导和气敏性能的影响》PDF+DOC2004年第09期 侯长平,李永红,葛秀涛,方大儒,沈玲,刘杏芹
《WOCE CTD校准标准和我国的WOCE CTD校准实验室》PDF+DOC2003年第01期 刁胜炎,于厚隆,田雨
《Sol-Gel法制备NASICON材料及表征》PDF+DOC 张爽,全宝富,赵志勇,邹永存,何月华,陈丽华
《数字化实验探究氢氧化钡与硫酸的反应》PDF+DOC 潘景微
《脉冲涡流矩形传感器参数的仿真优化与实验》PDF+DOC2013年第05期 周德强,闫向阳,尤丽华,张秋菊
采用磁控溅射的方法在传感器用单晶Si衬底上制备一层Mg-Sn涂层，实验测试研究溅射次数对其组织及导电特性的影响。研究结果表明：沉积涂层内形成了具有明显尺寸差异的颗粒，从而形成了粗糙的表面。随着溅射次数增加，Mg含量发生了逐渐降低的现象，Sn与O元素含量表现为逐渐升高的变化规律。随着溅射剥离时间的增加，Mg1s峰位从1286降低至1285 eV，表现为涂层深度增大后，Mg1s发生了峰位降低的现象。出现在沉积薄膜内的O主要是为了提高靶材的成型能力而加入一些有机物所产生的。各涂层都具有正的Hall系数，可以判断属于p型半导体。当涂层内Mg含量发生减小后，电导率也随之减小。当涂层内形成更少的Mg_2Sn与更多的Sn之后，引起了载流子浓度的下降，引起迁移率的减小。
提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。