作者：涂云婷,金敏慧,张成功,李以贵 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2019年第12期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2019120080 DOC编号：DOCBDTQ2019120089 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《一种新型MEMS压阻式SiC高温压力传感器》PDF+DOC2015年第04期 何洪涛,王伟忠,杜少博,胡立业,杨志 《MEMS传感器的发展现状及应用综述》PDF+DOC2016年第03期 郝旭欢,常博,郝旭丽 《MEMS传感器现状及应用》PDF+DOC2011年第08期 王淑华 《TE Connectivity推出紧凑型力传感器》PDF+DOC2020年第01期 《静电封装技术在硅真空膜盒上的应用》PDF+DOC1985年第10期 计志林 《压阻式流速传感器研究》PDF+DOC2004年第05期 卢晓敏,金建东,董宇红,赵异凡 《基于关节力传感器的并联六自由度机构标定方法》PDF+DOC2012年第10期 皮阳军,王宣银,胡玉梅 《基于力敏传感器密度计的设计与应用》PDF+DOC2006年第04期 白泽生,周学军 《新型多自由度足力测试装置设计》PDF+DOC2007年第05期 王庆安,胡小秋 《硅微微压传感器研究进展》PDF+DOC2006年第09期 夏文明,丁建宁,杨继昌

    • 设计并仿真了一种压阻式六自由度力传感器及其测量电桥，采用微电子机械系统(MEMS)加工技术制备了以单晶硅为结构材料的六自由度力传感器，完成了传感器芯片的封帽式封装。压阻式六自由度力传感器的尺寸为5 mm&#215；5 mm&#215；3 mm，由传感器芯片、探测柱和封装外壳组成。基于流体的绕流阻力效应，完成了压阻式六自由度力传感器水流流速检测实验。实验证明，该传感器的量程为0～0.55 m/s，可以灵敏检测到低速水流的波动性变化，并且传感器在水流速度为0.45～0.55 m/s的测量范围内灵敏度较高。利用单晶硅材料易于小型化、滞后极小的特点，该六自由度力传感器响应快、环境适应性强、可批量制造。

    📙 相关资料

    1. 《一种新型MEMS压阻式SiC高温压力传感器》PDF+DOC 提出采用SiC材料来构造特殊环境下使用的MEMS压阻式高温压力传感器。分析了国际上特种高温压力传感器发展的主流趋势和技术途径，根据该领域应用需求、SiC材料特点和成本的多方权衡，开发了压阻式SiC高温压力传感器。通过理论模型结合ANSYS软件进行敏感结构的仿真和设计，解决了SiC压力传感器加工工艺中......
    2. 《MEMS传感器的发展现状及应用综述》PDF+DOC 在微电子技术高速发展的大潮中，MEMS(Microelectro-mechanical systems)传感器也得到广泛应用。首先，文章简单介绍MEMS传感器的概念、特点、典型代表。其次，举例阐述其在国内外的最新研究进展、产品及应用情况，包括基本原理、实现功能的先进性。最后，从无源化、材料多样化、微......
    3. 《MEMS传感器现状及应用》PDF+DOC MEMS传感器种类繁多，发展迅猛，应用广泛。首先，简单介绍了MEMS传感器的分类和典型应用。其次，对MEMS压力传感器、加速度计和陀螺仪三种最典型的MEMS传感器进行了详细阐述，包括类别、技术现状和性能指标、最新研究进展、产品，及应用情况。介绍MEMS压力传感器时，给出了国内外采用新型材料制作用于极......
    4. 《TE Connectivity推出紧凑型力传感器》PDF+DOC 自动化已成为我们的日常职能中越发重要的一部分。这种趋势不仅提高了传感器内容处理要求，而且还要求传感器可以提供更高的性能、更紧凑的尺寸和满足量产需求的最优化设计。全球连接与传感领域领军企业TE Connectivity (TE)优化紧凑型力传感器设计以提高性能，力传感器最基本的特性是灵敏度、稳定性、可......
    5. 《静电封装技术在硅真空膜盒上的应用》PDF+DOC 静电封装是继玻璃烧结等新工艺后又一种能实现硅敏感膜片刚性联结的理想工艺方法，并日益在制造硅压阻式各型传感器的硅膜盒组件上显示出其优越性。本文着重介绍静电封装技术在硅真空膜盒上的应用，我们建立了一个小于5&#215；10~(-5)毫米汞柱绝对压力的基准压力参考值。这使研制的压阻式绝对压力传感器......
    6. 《压阻式流速传感器研究》PDF+DOC 介绍了一种流速传感器的工作原理、结构设计和关键工艺。该传感器基于毕托管的工作原理来测量流速，采用压阻式差压传感器测量流体中的总压与静压之差。整个装置体积小、重量轻，可实现便携式检测。对流速传感器的标定测试方法进行了探讨和试验验证，实际测量和使用表明：流速测量结果准确可靠，准确度达0.5%FS。...
    7. 《基于关节力传感器的并联六自由度机构标定方法》PDF+DOC 提出了一种基于关节力传感器的并联六自由度机构结构参数标定方法。从力学角度出发，通过测量并联六自由度机构各关节驱动力，利用并联六自由度机构自身的运动学和动力学模型构造相应的辨识模型，实现其结构参数的标定。通过标定仿真验证了该方法的实用性和有效性。...
    8. 《基于力敏传感器密度计的设计与应用》PDF+DOC 采用力敏传感器设计了新的密度计，并测定了固体、液体的密度。...
    9. 《新型多自由度足力测试装置设计》PDF+DOC 介绍了一种新的六自由度足力测量装置的结构。首先描述了测试装置的硬件结构，然后运用坐标变换等数学工具，根据点在平面上的投影确定了移动体在空间的位移，并通过刚度矩阵，给出了该装置的数学模型及六维力向量的信息获取方法。试验结果表明，该装置方案可行，结构合理，数学模型正确，刚度矩阵的标定能满足精度要求，基本......
    10. 《硅微微压传感器研究进展》PDF+DOC 硅微压力传感器的主要研究方向之一是硅微微压传感器。分析了已经商业化的压阻式、电容式、谐振式三类典型的硅微压力传感器各自优缺点，回顾了它们的微压化进展，并在此基础上确定了硅微超微压传感器(0~100 Pa)的电容式结构形式。针对其研究过程中存在的主要难点，提出了双差动结构模型，即机械与电路部分均采用差......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。