作者：王文涛,梁庭,杨娇燕,雷程,李志强,单存良,薛胜方 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2019年第10期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2019100080 DOC编号：DOCBDTQ2019100089 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《一种MEMS高温压力传感器》PDF+DOC2016年第06期 王伟忠,何洪涛,卞玉民,杨拥军 《一种仿侧线神经丘的MEMS矢量水听器设计》PDF+DOC2019年第07期 张小勇,沈倪鑫,尚珍珍,纪松祥,张国军 《基于MEMS技术的催化燃烧气体传感器》PDF+DOC2018年第10期 马丽,宋宏斌,王磊,杨梅 《MEMS技术研究及应用》PDF+DOC2004年第12期 金铃 《国外MEMS技术的现状及其在军事领域中的应用》PDF+DOC2002年第06期 亢春梅,曹金名,刘光辉 《压阻式压力传感器性能的研究》PDF+DOC2012年第02期 阎文静,张鉴,高香梅 《微电子机械系统(MEMS)技术在军用设备中的应用现状》PDF+DOC2010年第04期 方震华,黄慧锋 《奶牛体温植入式传感器与实时监测系统设计与试验》PDF+DOC2018年第12期 何东健,刘畅,熊虹婷 《微机械元件和仪器新进展》PDF+DOC1999年第01期 邵培革,王立鼎,任延同 《微机械薄膜的设计和制造》PDF+DOC1999年第03期 李立杰

    • 颅内压力的监测对颅内疾病的诊断和治疗有重要的作用，基于硅的压阻效应，设计了一种可用于人体颅内压力监测的植入式压力传感器。根据压阻效应原理和薄板变形理论，完成了颅压传感器力学结构和电学性能的设计，然后采用微电子机械系统(MEMS)加工工艺完成了敏感芯片的制备，并提出了一种具有生物兼容性的绝缘封装结构。同时搭建了绝缘性测试平台和性能测试平台，通过测试证明封装后的传感器具有良好的绝缘性和抗渗透能力，且其灵敏度可达到1.608 mV/kPa，可对颅压的变化做出响应，为颅压传感器的批量化生产奠定了研究基础。

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