作者：刘昇 单位：河北省科技咨询服务中心 出版：《》 页数：1页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFKJFT2019191710 DOC编号：DOCKJFT2019191719 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • MEMS技术是微电子技术的重要发展方向，用于各式先进传感器的研究和制作。本文针对MEMS热电堆红外传感器进行了详细介绍，内容涵盖其基本原理、发展历程、工作原理、制备工艺和执意要应用。

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