作者：杨继森,陈自然,张天恒,李小雨 单位：中国仪器仪表学会 出版：《仪器仪表学报》2016年第05期 页数：8页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYQXB2016050020 DOC编号：DOCYQXB2016050029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 针对研制时栅位移传感器过程中的误差标定环节，常规光栅传感器精度不满足要求的问题，采用激光干涉仪作为误差标定基准，自主研制了基于激光干涉仪的直驱式时栅角位移传感器误差自动标定与修正系统。利用时栅角位移传感器的多测头结构与误差曲线等间距周期性分布的特性，以一个对极的误差曲线重构传感器整周的误差曲线，采用多项式拟合算法构建了时栅角位移传感器的误差修正模型。实验结果表明，误差自动标定与修正系统可以快速、准确地对时栅角位移传感器进行自动误差标定与修正，修正后的时栅角位移传感器的整周误差达到&#177；0.43″。

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