作者：闫勇刚,刘志浩,朱小平,杜华,李加福 单位：中国计量测试学会 出版：《计量学报》2019年第S1期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJLXB2019S10050 DOC编号：DOCJLXB2019S10059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 主要对光谱共焦传感器的校准时的误差进行研究。分别利用激光干涉仪与高精度测长机对光谱共焦传感器进行测量，用球面测头保证光谱共焦传感器的光路位于测头中心，以保证光谱共焦传感器的在测量时的安装精度，然后更换平面侧头，对光谱共焦传感器进行校准。用最小二乘法对测量数据进行处理，得到测量数据的非线性误差。结果表明：高精度测长机校准时的非线性误差为0. 030%，激光干涉仪校准时的分析线性误差为0. 038%。利用最小二乘法进行数据处理及非线性误差的计算，减小校准时产生的同轴度误差及光谱共焦传感器的系统误差，提高对光谱共焦传感器的校准精度。

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