《芯片表面检测自动化系统的设计与实现》PDF+DOC
作者:孙怀义,莫斌,杨璟,李小明
单位:重庆市自动化与仪器仪表学会;重庆工业自动化仪表研究所
出版:《自动化与仪器仪表》2020年第06期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFZDYY2020060140
DOC编号:DOCZDYY2020060149
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根据芯片表面缺陷检测过程的特点设计了一种芯片表面缺陷检测系统,该系统包含了放料,检测,标记和收料4个组成部分,在检测单元采用图像处理和图像识别技术准确检测芯片的缺陷;运用自动控制技术实现对缺陷芯片的标识;实现了对芯片表面缺陷检测和标记的智能化,将图像处理的高速性和机械控制系统的稳定性相结合,整个系统实现了芯片表面缺陷检测过程的自动化,解决了芯片表面检测效率低的问题。
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