作者：赵国博,叶国永,史永胜,尹磊,刘红忠 单位：中国计量测试学会 出版：《计量学报》2020年第07期 页数：8页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJLXB2020070030 DOC编号：DOCJLXB2020070039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 电子细分是光栅位移传感器实现纳米级分辨率测量的关键，细分误差由细分方法和光栅信号质量共同决定。针对信号实时修正方法在小步距测量和一些复杂工况环境下的局限性，从提高细分方法对非理想光栅信号的适应性的角度出发，提出了基于信号比值线性化的新型电子细分方法，构建了2种实时补偿信号以进一步提高信号的线性度；详细阐述了所提细分方法的细分原理，分析了其在非理想光栅信号输入情况下的细分误差；实现了最高为0.003μm的理论细分精度和0.08μm的实际细分精度。数值仿真和对比实验结果表明，所提细分方法对非理想光栅信号的适应性明显优于常用的反正切细分法和正余弦绝对值相减细分法。

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