作者：张金英,杨天辰,何秀丽,高晓光,贾建,李建平 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2016年第08期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2016080030 DOC编号：DOCBDTQ2016080039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 设计并制备了一种基于负电晕放电原理及微机电系统(MEMS)技术的多针-板型气体传感器。研究了电极间距对传感器放电特性的影响，综合考虑起晕电压、信号输出范围及稳定放电范围，优化电极间距为120μm。测试了传感器在体积分数均为6&#215；10~(-4)的乙酸、异丙醇、乙醇和丙酮四种有机气体中的放电特性，传感器对乙酸气体响应最灵敏。测试了传感器在-0.91 kV放电电压下对乙酸气体的敏感特性。结果表明，该传感器对不同体积分数的乙酸气体的响应具有较好的线性关系，对体积分数为10~(-6)的乙酸气体的响应约为0.61 mV，理论检测限(三倍噪声)约为1.2&#215；10~(-5)。传感器对乙酸气体响应灵敏度高、重复性好。

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