作者:祝彦,潘亚涛,刘光辉,李小亭 单位:河北大学 出版:《河北大学学报(自然科学版)》2020年第02期 页数:5页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFHBDD2020020040 DOC编号:DOCHBDD2020020049 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 阐述了一种使用周边固定的圆形膜片的反射式强度调制型MEMS光纤压力传感器的工作原理,在现有外界压力下的膜片应力、应变及固有频率公式的基础上,推导了膜片应力、应变和固有频率三者随传感器尺度变化的一般规律.利用有限元分析软件ANSYS对推演出的规律仿真模拟和分析,验证了此规律的正确性和普适性,同时修正分析模型,总结了理论公式与实际应用之间的联系与区别。

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