作者:王冰梅,高翔,杨恒祥,禹胜林 单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版:《传感器与微系统》2020年第05期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGQJ2020050090 DOC编号:DOCCGQJ2020050099 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 通过设计优化的环形上电极结构和普遍采用的栅条形上电极结构,进行理论研究和对比测试分析,并采用Looyenga及Dubinin等方程进行计算研究。为了扩大孔隙率,以提高水分子通过上电极的效率,从而缩短电容式湿度传感器的响应时间,对上电极多孔结构进行了优化研究,研究表明优化设计的环形上电极结构有利于改善湿度传感器的响应特性。

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