作者：冯春鹏,潘冬灵 单位：福建省机械科学研究院 出版：《机电技术》2016年第03期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJDJS2016030150 DOC编号：DOCJDJS2016030159 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 设计了一种基于51单片机的MEMS压力传感器的测试标定装置，该标定装置由3部分组成：压力容器泵体部分、测试控制电路部分、微型真空气泵部分。利用该测试装置对实验室设计制作的微压力传感器样品进行初步性能测试，并选取其中部分MEMS传感器实验样品进行系统标定。测试实验结果表明测试装置实际可行，为以后的微传感器测试工作提供了理论参考和实验依据。

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