作者：付敏,李昌利,朱革,蒲治伟,余小雨,张双亚 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2020年第08期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2020080010 DOC编号：DOCYBJS2020080019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 针对现有多光场时栅传感器体积大难以集成、光源一致性难控制以及安装误差影响大等问题，提出一种单光场余弦透光面的时栅位移测量方法。该方法采用单交变光场、连续余弦透光面合成电行波信号，从而实现高精度直线位移测量。文中介绍了多光场时栅缺点、单光场时栅的测量原理和集成化设计，并通过仿真和实验验证了连续余弦透光面优化的有效性。完成了光电传感和接收的集成化样机研制和实验平台的搭建。实验结果表明：在100 mm量程内用0.6 mm栅距实现了&#177；0.2μm测量精度。

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