《图像式角位移测量的光栅偏心度监测系统》PDF+DOC
作者：王亚洲,于海,易进,张士伟,韦宗喜
单位：中国科学院长春光机所;中国仪器仪表学会
出版：《光学精密工程》2020年第05期
页数：8页 （PDF与DOC格式可能不同）
PDF编号：PDFGXJM2020050060
DOC编号：DOCGXJM2020050069
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图像式角位移测量装置中，光栅的安装偏心标定结果直接影响着角位移测量的精度。为此，本文设计了一种用于调试图像式角位移测量装置光栅偏心度的系统。首先，根据图像式角位移测量机理，提出了基于线阵图像传感器的标定光栅偏心度监测原理；然后，在图像传感器上建立了偏心调试监测信号的模型，并提出存在偏心时偏心监测信号的变化机理；最后，对某型号角位移测量装置进行了实验，并给出了调试建议。实验表明，经过调节误差均方差由1 017″降低到12.8″。本文设计的偏心监测系统能够实现对标定光栅的高精度安装调试，提高了图像式角位移测量装置的批量生产效率。
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