《MEMS惯性传感器研究现状与发展趋势》PDF+DOC
作者:李晓阳,王伟魁,汪守利,彭泳卿,金小锋
单位:中国航天科技集团公司第七O四研究所
出版:《遥测遥控》2019年第06期
页数:14页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYCYK2019060020
DOC编号:DOCYCYK2019060029
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基于MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)技术的惯性传感器具有重量轻、成本低、体积小等优点,在民用、航天及军事领域有着极其广阔的应用和发展前景。伴随着MEMS技术的快速发展,MEMS惯性传感器各项性能指标也得到了显著提升。对MEMS陀螺仪、MEMS加速度计以及MEMS惯性测量单元(IMU)的基本工作原理、分类及研究现状进行梳理,并对其发展趋势进行了分析与展望。
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