作者：李琦,齐月静,卢增雄,张清洋,马敬,杨光华,苏佳妮 单位：中国电子科技集团第四十四研究所 出版：《半导体光电》2020年第03期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTG2020030180 DOC编号：DOCBDTG2020030189 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 匀光系统的均匀性是实现深紫外CMOS图像传感器参数测试的关键。根据傅里叶光学理论，结合ArF准分子激光输出光斑特点，设计了复眼阵列匀光系统的初始结构，并在ZEMAX非序列模式下建立了匀光系统模型。针对ZEMAX光源中光线采样随机性的特点及匀光系统均匀性的要求，对追迹光线数目及复眼阵列中透镜元个数进行了优化。在透镜元大小为1mm、采用1亿根光线并做30次平均后，在12mm&#215；12mm光斑范围内获得了均匀性为0.986的均匀照明光斑，满足CMOS图像传感器测试对光斑均匀性优于0.97的要求。

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