作者：顾宝龙,赵振平,陈浩远,潘威,张志强 单位：华中光电技术研究所;湖北省光学学会 出版：《光学与光电技术》2020年第02期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGXGD2020020030 DOC编号：DOCGXGD2020020039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 研究了一种直接沉积在镍基高温合金上的薄膜热电偶传感器。针对航空发动机高温恶劣环境，设计了传感器的膜层结构，采用磁控溅射技术沉积NiCrAlY薄膜过渡层，以电子束蒸发和射频磁控溅射技术相结合的方法沉积Al_2O_3薄膜绝缘层和保护层，采用直流磁控溅射技术制备Pt10Rh/Pt薄膜敏感层。测试结果表明，薄膜热电偶传感器最高工作温度达1 100℃，塞贝克系数8.26μV/℃，最大温度误差小于1%，使用寿命大于20 h。该薄膜热电偶能够承受恶劣的航空发动机试验环境，显著地提高局部温度测量的精度，对涡轮叶栅的寿命预期和冷却结构设计提供了参考依据。

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