《仿蟋蟀尾毛的MEMS振动传感器有限元仿真分析》PDF+DOC
作者:刘林仙,王朝阳,乔楠楠
单位:中国兵工学会
出版:《测试技术学报》2020年第04期
页数:6页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCSJS2020040160
DOC编号:DOCCSJS2020040169
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基于MEMS技术和仿生学设计了一种纤毛+薄膜振动传感器敏感结构,由垂直纤毛和两个相互垂直的悬臂梁构成信息接收和传递单元,沉积在与悬臂梁末端固连的硅衬底薄膜上的PZT压电薄膜作为敏感转化单元.建立了该传感器结构的等效运动模型,在此基础上对传感器的输出特性和频率特性进行了数学分析.利用ANSYS有限元软件对不同结构及几何参数的敏感结构进行了仿真分析,对比仿真结果,优化传感器的结构和几何参数.仿真结果表明该结构传感器共振频率达到了6 757.4 Hz。
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