作者：杨继森,牟智铭,李路建,邵争光,田青青 单位：中国机械工程学会 出版：《中国机械工程》2020年第12期 页数：9页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZGJX2020120100 DOC编号：DOCZGJX2020120109 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 为了解决采用两套高精度一维传感、装置测量二维位移时存在的测量系统复杂、检测同步性难保证和解耦运算复杂等问题，提出了一种基于差动结构的二维感应信号直接解耦方法，用于研究一种平面线圈型二维时栅位移传感器。立足于传统电磁式时栅技术，构建了二维位移直接解耦测量模型，并设计了传感器的基本结构。利用ANSYS Maxwell建立了传感器三维结构模型并进行了电磁仿真，并对仿真结果进行误差分析和溯源。基于此研制了传感器样机并进行了实验。实验结果表明：样机在79.2 mm&#215；79.2 mm测量范围内，X方向误差为91μm，Y方向误差为74μm，可实现二维位移同步检测和直接解耦测量，且测量系统结构简单、体积小，对研究更高性能的二维时栅具有重要参考价值。

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