作者：王波,于复生,李欢欢,程启良 单位：福建省机械科学研究院 出版：《机电技术》2015年第05期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJDJS2015050460 DOC编号：DOCJDJS2015050469 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • MEMS加速度传感器在微位移测量中有着广泛的应用，文章介绍了目前世界上主要的MEMS加速度传感器研究和生产情况，并针对MEMS加速度传感器在微位移测量方面的应用进行了概述，对其应用领域、研究方法和得出的结论进行了分析与评述，提出了目前存在的问题，并给出了相关的建议，为MEMS加速度传感器的进一步研究和应用提供参考。

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