《激光刻蚀法加工平面传感器电极的工艺研究》PDF+DOC
作者:张耿,黄捷讯,黄晓园,张绍强,郑华,叶海
单位:东莞理工学院学报编辑部
出版:《东莞理工学院学报》2020年第03期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFDGLG2020030060
DOC编号:DOCDGLG2020030069
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《平面电容传感器设计及在材料探伤中的应用研究》PDF+DOC2014年第07期 汪蓓蓓,黄云志,刘永洪
《船用计程仪平面传感器》PDF+DOC2010年第12期
《三维力柔性触觉传感器电极研究与实验》PDF+DOC2013年第01期 黄英,缪伟,李雷鸣,蔡文婷,杨庆华,葛运建
针对平面传感器对电极在外观、电学性能方面的特殊要求,设计了一种螺旋结构的叉指电极,并重点研究采用激光打标设备刻蚀制作ITO薄膜平面叉指电极时,工作功率、刻蚀速度、刻蚀刀数、填充间距等工艺参数对刻蚀效果的影响,探索出最佳的刻蚀工艺条件。研究结果表明,采用激光打标设备加工薄膜型平面电极,可满足平面气体传感器的实际应用需求。
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