作者：陈金龙,阎大伟,王雪敏,曹林洪,吴卫东 单位：广州化工研究设计院;广州市化工行业学会 出版：《广州化工》2020年第14期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGZHA2020140220 DOC编号：DOCGZHA2020140229 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 制作了基于AlGaN/GaN HEMT结构的微型氢气传感器。本文研究了室温条件下栅压与传感器氢气响应特性的关系。研究结果表明随着外加栅压(-2.5 V至0.5 V)的增大，传感器对氢气响应的灵敏度减小，最大灵敏度在阈值电压V_G=-2.5 V处，传感器对25 ppm氢气响应的灵敏度为87.1%，响应时间为15 s。当V_G=-2.5 V，V_(DS)=6 V时，传感器对氢气响应的灵敏度随浓度的升高而增大，且呈对数关系。研究表明Pt/AlGaN/GaN HEMT结构的氢气传感器可应用于室温氢气检测，具有极高的应用潜力。

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