作者：刘瑞芳,雷程,梁庭,王凯,李奇思,王文涛,李志强,李永伟,单存良 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2020年第08期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2020080070 DOC编号：DOCBDTQ2020080079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 介绍了一种以石墨烯作为气敏材料的高灵敏度、快速响应的NH_3气体传感器的制备与测试。该气体传感器制备工艺简单，仅需要在微电子机械系统(MEMS)工艺制备好的Au叉指电极上喷涂氧化还原处理后的石墨烯即可。在不同的温度、NH_3体积分数下对其气敏特性进行测试。测试结果表明，在25～100℃时，传感器的灵敏度与温度的线性相关系数高达0.981 42；在体积分数0～8&#215；10~(-4)的NH_3中，传感器的灵敏度与NH_3体积分数线性相关系数高达0.995 6，在NH_3体积分数为10-4、环境温度为25℃时，传感器的灵敏度为3.544 36%。同时，该传感器具有较广的检测范围，在NH_3体积分数为10~(-2)时，其响应和恢复时间分别仅为38 s和26 s，且具有较好的选择性和重复性。

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