《气体传感器用Au掺杂WO_3基复合涂层的组织及气敏性研究》PDF+DOC
作者:左明鑫,李月英
单位:中国机械工程学会;中国金属学会;中国有色金属学会;北京科技大学
出版:《粉末冶金技术》2020年第04期
页数:6页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFFMYJ2020040070
DOC编号:DOCFMYJ2020040079
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为了提高气体传感器的测试精度,选择等离子喷涂工艺来制备Au掺杂WO_3基(WO_3/Au)复合涂层,并对复合涂层的组织和气敏性展开分析。结果表明:在WO_3/Au复合涂层的X射线衍射谱图上,只观察到WO_3与Au对应的两种衍射峰,没有出现其他物相的衍射峰;相对于纯WO_3涂层,WO_3/Au复合涂层没有发生颗粒尺寸、结晶度与微观结构的显著改变;WO_3/Au复合涂层的吸脱附曲线发生了分离的现象,出现了脱附滞后的情况。当温度上升,气体传感器用纯WO_3涂层和WO_3/Au复合涂层都出现了响应值先升高到峰值又逐渐降低的现象,其中最大值出现在300℃处;不同于纯WO_3涂层,气体传感器用WO_3/Au复合涂层可以实现对NO2的快速响应,并获得更短的恢复时间,说明WO_3/Au复合涂层具备更优的气敏性。
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