作者：杨继森,牟智铭,李路建,邵争光,李明 单位：中国测试技术研究院 出版：《中国测试》2020年第08期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFSYCS2020080140 DOC编号：DOCSYCS2020080149 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 针对在时栅位移传感器测量过程中激励信号所引入的误差问题，提出一种基于激励信号误差分析的误差模型，以及针对该误差模型的修正方法。通过对传感器感应信号进行建模分析，确定激励信号引入幅值误差、正交误差和相移误差，并分别建立3类误差模型。采用数值分析法研究3类误差的特性、来源及相互关系，基于误差之间相关性低这一特性，采用基于加窗函数的误差修正方法处理幅值误差，按误差源分步补偿正交误差，结合迭代最小二乘拟合法修正相移误差。实验结果表明：经误差修正，72对极圆型场式时栅位移传感器的整周测量误差由&#177；119.6″降低至&#177；1.84″，单对极范围内的测量误差由&#177；117.7″降低至&#177；1.54″，所提出的误差修正法可大幅度地降低测量误差，有效提高传感器的测量精度。

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