作者： 单位：北京信息科技大学 出版：《传感器世界》2020年第02期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGSJ2020020080 DOC编号：DOCCGSJ2020020089 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 近些年，随着AI在物联网的渗透和边缘计算能力的增强，MEMS传感器凭借体积小、重量轻、功耗低、可靠性高、灵敏度高等一系列优点，正逐渐成为微型传感器的主力军，大有取代传统机械传感器的趋势。“MEMS技术无处不在，其应用已经覆盖了机器人、智慧城市、医疗设备、状态监测、智慧农业、自动驾驶等生活的各个领域。”ADI亚太区微机电产品线总监赵延辉指出。据Yole D&#233；veloppement统计，

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