作者：冯可,佟建华,王宇,方东明,夏善红 单位：中国技术经济学会 出版：《科学技术与工程》2015年第08期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFKXJS2015080180 DOC编号：DOCKXJS2015080189 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 提出并研制一种新型压电悬臂梁式微型电场传感器，该传感器是基于压电(PZT)薄膜驱动的悬臂梁式微型电场传感器；同时介绍了传感器的工作原理、结构设计、制作工艺以及初步测试结果。该微型电场传感器由多根压电悬臂梁构成，每根悬臂梁能同时具有屏蔽电场和感应电荷功能。对传感器感应电荷的能力进行了计算；并根据计算结果和工艺要求设计了传感器的参数。该微型电场传感器采用微加工技术制作，每根悬臂梁为多层复合结构(Al/Si3N4/Pt/PZT/Pt/Ti/Si O2/Si)，其中PZT薄膜采用溶胶-凝胶法制备。测试结果证明，传感器具有良好的响应特性。

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