作者：王锦仁,郭俊梅,张玉宾 单位：重庆市光学机械研究所 出版：《激光杂志》2020年第06期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJGZZ2020060070 DOC编号：DOCJGZZ2020060079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 元件表面粗糙度属于机械加工中体现元件表面微观形态的核心参数，提出基于光纤传感器的元件表面粗糙度测量方法，根据定位装置变换光纤传感器探头中定位与距离，光源传输的光纤以光纤束的形式直射到元件上，经元件表面轮廓调节后出现反射与散射，部分光纤经过接收光纤束与光电转换变成光纤传感器测量信号；为了去除光源光强干扰，通过补偿电路增大光纤传感器测量信号的完整性，通过完整的光纤传感器测量信号准确获取元件表面原始轮廓信号，再采用FIR滤波器去除光纤传感器所获取的元件表面原始轮廓信号中的噪声；并将降噪后的元件表面原始轮廓信号传输至单片机，单片机采用光学散射法计算元件表面微观粗糙度，获取光传感器测量的元件表面粗糙度信息。经验证，针对不同粗糙程度的元件表面，所提方法均可准确测量元件表面的粗糙度。

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