《光刻机平边定位原理简析及找平边模块改造》PDF+DOC
作者:刘磊,王发稳,申强,夏久龙
单位:中国电子科技集团第四十五研究所
出版:《电子工业专用设备》2020年第03期
页数:6页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFDGZS2020030100
DOC编号:DOCDGZS2020030109
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论述了NIKON i12D(type3)光刻机平边定位工作原理,并以NIKON i12D(type3)光刻机为基础,通过对找平边传感模块的硬件和电路改造,实现了对GaN晶圆平边的有效识别。测试结果表明,成功率高,稳定性好;减少了不必要的生产流程,提高了生产效率。
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