作者：马春宇,周瑜,王坤博,刘超,高硕,张乐意 单位：中国电科技集团公司第三研究所 出版：《电声技术》2020年第05期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDSJS2020050180 DOC编号：DOCDSJS2020050189 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 对电容型次声传感器一致性影响因素及控制方法展开研究。基于圆形固支振膜模型得到一致性误差表达式，并推导各结构模块加工误差与传感器一致性对应关系。在此基础上，采用激光测振法精确测量振膜谐振频率，实现谐振频率误差控制；采用高精度阻抗分析仪精确测量极头电容值，实现极间距误差控制。通过12台次声传感器灵敏度对比实验，验证了一致性误差控制理论的有效性。实验结果表明，通过控制振膜谐振频率和极间距能够实现次声传感器灵敏度调节，使一致性误差小于5%，研究结果能够指导次声传感器参数设计。

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